吉時利KEITHLEY源表在統(tǒng)一自動特征分析套件中、集成測試系統(tǒng)整合各種測試硬件,具有全面而*的測量能力:
·吉時利強(qiáng)大的4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)具有I-V源測量功能和專業(yè)脈沖測試工具包,用于先進(jìn)半導(dǎo)體材料測試的4200-PIV工具包。
·2600系列數(shù)字源表測試儀具有TSP-Link和測試腳本處理器(TSP),可在運行狀態(tài)下的NBTI測試或圓片級器件特征分析等應(yīng)用中實現(xiàn)可擴(kuò)展的I-V通道系統(tǒng)、高速并行測量和復(fù)雜測試序列等功能。
·2400系列數(shù)字源表測試儀能夠提供高電壓和高電流源,可用于高功率MOSFET和顯示驅(qū)動器測試等領(lǐng)域。
·此外ACS集成測試系統(tǒng)還為用戶提供可選擇的開關(guān)、C表和脈沖發(fā)生器等附件。
吉時利KEITHLEY源表其中一些主要應(yīng)用如:
·通用超快I-V測量。脈沖式I-V測試具有很廣泛的應(yīng)用,它通過使用窄脈沖和/或低占空比脈沖而不是直流信號,能夠防止器件自熱效應(yīng)。
·CMOS器件特征分析。4225-PMU/4225-RPM的高速電壓源和電流測量靈敏度使得它們非常適合于CMOS器件的特征分析,包括高k器件和先進(jìn)CMOS工藝,如絕緣體上硅。
·非易失性存儲器測試。系統(tǒng)安裝的KTEI軟件提供了用于閃存和相變存儲器器件測試的工具包。該系統(tǒng)非常適合于單個存儲單元或小規(guī)模存儲陣列的測試,例如研發(fā)或工藝驗證之類的應(yīng)用。
·化合物半導(dǎo)體器件與材料的特征分析。能夠?qū)II-V族材料進(jìn)行特征分析,例如氮化鎵、砷化鎵和其它一些化合物半導(dǎo)體。它允許用戶設(shè)置一個脈沖偏移電壓,然后從非零值進(jìn)行測量,從而研究器件的放大增益或線性度。
·NBTI/PBTI可靠性測試。自動特征分析套件軟件還支持全自動晶圓級和晶匣級測試,內(nèi)置NBTI/PBTI測試庫,具有簡潔易用的GUI。